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小型直动2通SMC电磁阀 VDW
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・用于空气、中真空、水。
・主体材质：Al、树脂（PPS）、C37、SUS。 ・有带快换管接头（树脂主体）的型号。 ・IP65。 |
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| 系列 | 阀形式 | 接管口径 | 孔口径 |
|---|---|---|---|
| VDW10/20 | N.C. | φ3.2，φ4，φ6，M5，1/8 | φ1～φ3.2 |
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※VDW10/20系列于2012年12月停产。
请选择NewVDW10/20系列。 ※VDW30系列于2015年7月停产。 请选择VX21系列。 |
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| 系列 | 阀形式 | 接管口径 | 孔口径 (mmφ) |
|---|---|---|---|
| VDW10/20/30 | N.C. | M5～1/4 (8A) | 1～4 |
| VDW200/300 | C.O. | M5～1/4（8A） | 1～4 |
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・采用体积小、重量轻的树脂主体（PPS）。
・IP65。 ・消耗功率：3W（标准）、0.5W（带节电回路）。 |
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| 系列 | 阀形式 | 接管口径 | 孔口径（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VDW30/40-XF | N.C. |
快锁P7，P8 φ4，φ6，φ8，φ10 |
1～6 |
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・高速响应：ON时 0.45ms、OFF时 0.4ms(±0.05ms)。
・长寿命 50亿次以上。 ・高频率 1200Hz。 ・薄型 9mm。 ・低功耗 4W。 |
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| 系列 | 流量 | 消耗功率 (W) | 最高动作频率 (Hz) |
|---|---|---|---|
| SX10 | 50 |
80 40 10 4 |
1200 1000 550 350 |
| SX10 | 100 |
80 40 10 4 |
650 550 300 200 |
| SX10 | 150 |
80 40 10 4 |
600 500 250 150 |
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・高頻率动作。
高速响应7ms以下（VQ20）、20ms以下（VQ30）。 ・内置快换管接头，便于配管。 ・DIN连接 可对应防尘、防喷流型（IP65）。 ・用于工件的吹气、吹扫。 ・集装底座型号：VV2Q22，VV2Q32。 |
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| 系列 | 阀形式 | 接管口径 | 孔口径（mmφ） |
|---|---|---|---|
| VQ20 | N.C. | φ6～φ12 | 3.4 |
| VQ30 | N.C. | φ6～φ12 | 4.8 |
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・接触液体部分材质
主体／底盘：PEEK。 膜片：可选择EPDM，FKM，Kalrez®。 ・动作寿命1000万次以上（本公司实验条件下的值）。 |
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| 系列 | 阀构造 | 阀形式 | 孔口径（mmφ） |
|---|---|---|---|
| LVM09/090 |
膜片式 直动式阀座 （摇臂型） |
N.C. N.O. 万向型 |
1.1 |
| LVM11 |
膜片式 直动式阀座 |
N.C. | 1.5 |
| LVM10/100 |
膜片式 直动式阀座 （摇臂型） |
N.C. N.O. 万向型 |
1.4 |
| LVM15/150 |
膜片式 直动式阀座 （摇臂型） |
N.C. N.O. 万向型 |
1.6 |
| LVM20/200 |
膜片式 直动式阀座 （摇臂型） |
N.C. N.O. 万向型 |
2 |
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・低发尘、禁油、无金属。
・使用流体：空气、水、脱离子水(纯水)、稀释液、洗净液。 ・分离构造 隔离密封垫将使用流体区域与电磁驱动部隔离。 ・简单配管。 ・防止液体积留。 ・不需要调节流量。 |
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| 系列 | 阀形式 | 配管方向 | 接触液体部分材质 |
|---|---|---|---|
| LVMK |
N.C. 万向型 |
下方配管 横向配管 |
主体：PPS 密封件：EPDM, FKM |
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・用于精密洗净及洁净室组装。
・全部产品均经过了氦气泄漏检测。 ・符合SEMI规格 ・采用方便作业的锻造主体。 |
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| 系列 | 形式 | 主体材质 | 配管连接 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| AZ | 气控型 | SUS316L |
面密封接头 管子焊接 |
1/4'' 3/8'' 1/2 |
| AZ | 手动型 | SUS316L |
面密封接头 管子焊接 |
1/4'' 3/8'' 1/2 |
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・最低使用压力：1×10-6Pa(abs)
・泄漏量：内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。 ・有2种接头和内螺纹可选。 ・消耗功率：最多削减25％。 ・质量：最多减小18％ 0.5kg→0.41kg。 |
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| 系列 | 阀形式 | 使用流体 | 配管连接方式 | 配管尺寸 |
|---|---|---|---|---|
| XSA | 常闭 |
空气 惰性气体 |
面密封接头 卡套式接头 |
1/4, 3/8 |
| XSA | 常闭 |
空气 惰性气体 |
Rc, NPT内螺纹 | 1/8, 1/4, 3/8 |
