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高真空SMC阀

更新时间:2019-07-18 16:23 | 本文关键字:SMC阀


高真空SMC阀常见型号:铝制高真空L型阀 XLA/C/F/G、铝制高真空L型阀 XL□、铝制快速拆装型 高真空L型阀 XLAQXLDQ、不锈钢制高真空L型/直线型阀 XM/XY常闭型高真空电磁阀 XSA、平稳排气

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铝制高真空L型SMC阀 XLA/C/F/G

 

・采用铝制主体。
 受热升温均匀。
 重量轻、外形紧凑。
 放出气体少。
 重金属污染少。
・可更换波纹管。
 
系列 操作方式 SMC阀形式 轴密封
方式
用途 法兰
尺寸
XLA-2 气控 单作用
(N.C.)
波纹管密封 除尘
净化
16~80
XLAV-2(带电磁SMC阀) 气控 单作用
(N.C.)
波纹管密封 除尘
净化
16~80
XLC-2 气控 双作用 波纹管密封 除尘
净化
16~80
XLF-2 气控 单作用
(N.C.)
O形圈密封 高速动作
高动作次数
16~80
XLFV-2(带电磁SMC阀) 气控 单作用
(N.C.)
O形圈 高速动作
高动作次数
16~80
XLG-2 气控 双作用 O形圈 高速动作
高动作次数
16~80

 

・耐氟。
・放出气体量少。
・重金属污染少。

※法兰尺寸16〜80的XLA/C/F/G已进行了产品变更。
  请选择XLA-2/XLC-2/XLF-2/XLG-2系列。
 
系列 操作方式 SMC阀形式 轴密封
方式
用途 法兰
尺寸
XLA 气控 单作用
(N.C.)
波纹管密封 防尘
净化
16~160
XLAV(带电磁SMC阀) 气控 单作用
(N.C.)
波纹管密封 除尘
净化
16~160
XLC 气控 双作用 波纹管密封 除尘
净化
16~160
XLCV(带电磁SMC阀) 气控 双作用 波纹管密封 除尘
净化
16~80
XLF 气控 单作用
(N.C.)
O形圈密封 高速动作
高动作次数
16~160
XLFV(带电磁SMC阀) 气控 单作用
(N.C.)
O形圈 高速动作
高动作次数
16~160
XLG 气控 双作用 O形圈 高速动作
高动作次数
16~160
XLGV(带电磁SMC阀) 气控 双作用 O形圈 高速动作
高动作次数
16~80
XLD 气控 单作用
(N.C.)
波纹管密封
O形圈密封
防止扬尘
防止泵过载
25~160
XLDV(带电磁SMC阀) 气控 单作用
(N.C.)
波纹管密封
O形圈密封
防止扬尘
防止泵过载
25~160
XLH 手动 手动 波纹管密封 除尘
净化
16~50
XLS 电磁式 单作用
(N.C.)
(波纹管平衡) 无需空气
可搬运装置用
16,25

 

・快速拆装(无需工具)。
 
系列 操作方式 轴密封
方式
SMC阀形式 材质 法兰
尺寸
XLAQ 气控 波纹管密封 单作用
(N.C.)
主体:铝
波纹管:SUS316L
16~50
XLDQ 气控 波纹管密封
O形圈密封
单作用
(N.C.)
主体:铝
波纹管:SUS316L
40,50

 

・无气体积留的精密遗体铸造结构。
・铝制高真空L型SMC阀,安装上具有与XL系列的互换性(XM系列)。

注)直线型无尺寸16。
 
系列 操作方式 轴密封
方式
SMC阀形式 材质 法兰
尺寸
XMA/XYA 气控 波纹管密封 单作用
(N.C.)
主体:SCS13(相当于SUS304)
波纹管:SUS316L
16~80 注)
XMC/XYC 气控· 波纹管密封 双作用 主体:SCS13(相当于SUS304)
波纹管:SUS316L
16~80 注)
XMD/XYD 气控 波纹管密封
O形圈密封
单作用
(N.C.)
主体:SCS13(相当于SUS304)
波纹管:SUS316L
25~80
XMH/XYH 手动 波纹管密封 手动 主体:SCS13(相当于SUS304)
波纹管:SUS316L
16~50 注)

 

・最低使用压力:1×10-6Pa(abs)
・泄漏量:内部1.3×10-9Pa・m3/s、外部1.3×10-11Pa・m3/s。
・有2种接头和内螺纹可选。
・消耗功率:最多削减25%。
・质量:最多减小18% 0.5kg→0.41kg。
 
系列 SMC阀形式 使用流体 配管连接方式 配管尺寸
XSA 常闭 空气
惰性气体
面密封接头
卡套式接头
1/4, 3/8
XSA 常闭 空气
惰性气体
Rc, NPT内螺纹 1/8, 1/4, 3/8

 

・SMC阀与针SMC阀一体化,配管空间为原来的1/4。
・密封部采用金属膜片,大幅减少了微粒的产生。
・初始供气、主給気可同时进行流量调节。
 
系列 SMC阀形式 使用流体 配管连接方式 配管尺寸
XVD 常闭
(加压开・弹簧密封)
氮气、空气、
惰性气体等
VCR®
Swagelok®
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